一次纯水的水质对超纯水的纯化结果有很大的影响。做为超纯水系统的供给水尽量不要使用离子交换树脂水或是蒸馏水,其原因并不只是因为会使超纯水系统的性能无法完全发挥,并且还会降低纯化柱与过滤膜的使用寿命。
利用逆渗透膜(RO)进行水质纯化时,逆渗透膜的功能会受到自来水水质(因地区的不同、季节的变化等)很大的影响,因为逆渗透膜是以比例原则来去除污染物,自来水的水质越差,逆渗透纯化后的水质就越差。所以,以RO+EDI纯水做为超纯水系统的供给水是合适的,如此便可得到水质稳定的超纯水。
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